華烯環(huán)保分享|多晶硅出產(chǎn)過程中需要什么樣的廢氣處理設(shè)備：

在多晶硅的出產(chǎn)中，還會發(fā)生一定的廢氣和殘液，現(xiàn)在我們的廢氣處理設(shè)備現(xiàn)已比較先進(jìn)，對曾經(jīng)的處理技能進(jìn)行了改進(jìn)，現(xiàn)已達(dá)到了較高的水平。

多晶硅是太陽能和微電子工業(yè)的要害原材料，跟著我國太陽能工業(yè)的快速開展，多晶硅的需求量也與日俱增?，F(xiàn)在，多晶硅工藝技能空前活潑。主要有西門子法、冶金法、等離子法、硅烷法、流化床法、熔鹽電解法、無氯工藝技能等。

西門子法是通過氣相堆積的方法出產(chǎn)柱狀多晶硅。為了提高質(zhì)料使用率，在原基礎(chǔ)上選用閉環(huán)式出產(chǎn)工藝即改良西門子法。改良西門子工藝出產(chǎn)的多晶硅產(chǎn)能約占世界總產(chǎn)能的80%。

國內(nèi)外對西門子法制備高純多晶硅的研討較多。如張玉等人選用催化化學(xué)氣相堆積法制備多晶硅薄膜;美國M.M.Dahl等人研討了多晶硅在流化床中的微觀結(jié)構(gòu)和顆粒生長。此外，多晶硅的出產(chǎn)技能還有碳熱復(fù)原法、區(qū)域熔煉法等。碳熱復(fù)原法是使用高純碳復(fù)原二氧化硅制取多晶硅，區(qū)域熔煉法是使用金屬定向凝固原理將金屬級硅提純到、太陽能級硅的。

廢氣和殘液的處理：
在多晶硅制備中有大量的廢氣和廢液發(fā)生，國內(nèi)多數(shù)單位一般先用水洗水解，然后通過NaOH中和廢氣處理和殘液處理工序。

廢氣凈化：
氯硅烷別離提純工序各精餾塔頂排放的含氯硅烷、氮?dú)獾膹U氣，及含氯硅烷、氫氣、氮?dú)?、氯化氫的多晶硅?fù)原爐置換吹掃氣和多晶硅復(fù)原爐事端排放氣等，被送進(jìn)尾氣洗刷塔組，用水(鹽酸溶液)洗刷，廢氣中的氯硅烷與水發(fā)生以下反響而被除掉：
SiHCl3+2H2O=SiO2+3HCl+H2
SiCl4+2H2O=SiO2+4HCl
SiH2Cl2+2H2O=SiO2+2HCl+H2
出尾氣處理塔頂含有氮?dú)夂蜌錃獾膹U氣經(jīng)液封罐放空，出尾氣處理塔塔底含有SiO2固體的鹽酸溶液用泵送入工藝廢料處理工序。